核心要点：
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该公司的172nm准分子光源日前正式量产投用
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产品围绕172nm波长的面阵准分子光源模块
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下游与半导体设备商、平板显示厂商开展联合验证
近期，面向半导体与平板显示产线对深紫外光源的国产化需求，明之源科技（MZY Lighting）品牌Excimerlight宣布推出基于172nm波长的准分子光源产品。产品型号包含圆管、平板电极等多种结构，可用于晶圆光清洗、光刻胶去除、TOC降解、基材表面改性等场景。
一、产品主要面向的制程
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半导体晶圆清洗：与光刻胶去胶工艺衔接，为逻辑、存储芯片产线的表面处理配套国产光源模组
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平板显示：用于OLED/TFT制造中玻璃基板的有机残留去除、粘附性改善
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超纯水系统：支撑超纯水循环中的TOC在线降解
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精密光学/微纳制造：透镜、掩膜版、MEMS传感器等器件的高洁净度处理
二、产品技术构成
（一）关键技术参数
| 参数项 | 描述 |
|---|---|
| 品牌 | Excimerlight（明之源旗下准分子光源系列） |
| 中心波长 | 172nm±2nm |
| 光谱纯度 | ≥95%，无杂峰干扰 |
| 输出功率规格 | 300W、500W、800W、1000W（多种可选） |
| 辐照照度范围 | 100-220mW/cm²（依灯管类型及驱动条件不同而有所差异） |
| 使用寿命 | 1500-2000小时（连续运行条件下） |
| 辐照均匀性 | ≥92%（有效辐照区内） |
| 工作温度 | ≤40-65℃（取决于冷却方式） |
| 工作模式 | 直流驱动 |
| 腔体材质 | 高透紫外合成石英，真空密封结构 |
| 安装方式 | 标准化模组，支持卧式或立式安装 |
以上参数为实验室条件下的典型值，实际使用效果受电源匹配、冷却条件、应用场景、清洁周期等因素影响，建议在设备整机中验证确定。
（二）设计特点
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低温处理：大功率下可将基片温升控制在40-65℃量级，减少对热敏感器件的损伤风险。
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无化学残留：利用172nm高能光子直接裂解有机污染物，生成CO₂与H₂O，避免湿法清洗带来的化学残留。
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模块化结构：灯管、电源、冷却接口集成为标准模组，方便设备集成商进行二次开发。
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均匀性优化：通过平板电极或网状电极设计，使有效辐照面内的光强分布更为均匀，有助于批量工艺一致性。
三、行业应用协同性说明
172nm准分子光源目前已在晶圆光清洗、TFT-LCD/OLED制造、光学元件清洁、超纯水TOC削减等领域获得应用。与其他国产深紫外光源厂商（如广明源等）相比，Excimerlight产品在功率档位丰富度、灯管寿命、辐照均匀性等方面有所侧重。下游企业可综合比较产品规格、价格、供货周期及售后服务，选择适合自身产线工艺的供应商。
四、关于公司
明之源科技有限公司（MZY Lighting）成立于2012年，主营业务覆盖LED照明、显示屏及广告机-49。近年来，公司向特种光源领域延伸，推出准分子光源系列产品。
五、联系方式
联系电话：13316879606
邮 箱：king@excimerlight.com
网 址：www.excimerlight.com
